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    磁控蒸镀设备
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    高真空电子束蒸发镀膜机

    产品时间:2020-10-05 10:26:56

    简要描述:

    名称:高真空电子束蒸发镀膜机 型号:TEMD600 品牌:泰科诺 产地:北京

    详细介绍

    名称:高真空电子束蒸发镀膜机
    型号:TEMD600
    品牌:泰科诺
    产地:北京

     


    规格参数

    一、产品概述

    1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

    2、产品特点/用途

    ?设备一体化设计,占地面积小,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;

    ?适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;

    ?适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。

     


    技术指标
    型号 TEMD600
    真空腔室结构 立式圆柱形侧开门结构,后置抽气系统
    真空腔室尺寸 Φ600×H750mm
    加热温度 室温~300℃
    旋转基片台 平板型Φ350mm,或球罩型基片台可选
    膜厚不均匀性 ≤±5.0%
    考夫曼离子源 可选
    蒸发源 电子枪8KW 6穴坩埚 国产进口可选,配2-3组电阻蒸发
    控制方式 PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统
    占地面积 长×宽:L2500×W1600mm
    总功率 ≥17KW

     


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